『半导体』加工为何需要高达十万转的气动气浮主轴?(『半导体』设备加工)

『半导体』加工为何需要高达十万转的气动气浮主轴?

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『半导体』加工精度要求极高,有三大硬性指标,旋转精度、稳定性、洁净度。传统主轴无法满足这些要求,滚珠轴承的接触摩擦会产生振动、磨损碎屑,同时转速也不够。为何需要如此高的转速,是因为硅片脆性大,必须要极高的转速满足其线速度,才能控制单刃切削量在极低的程度。欢迎私信咨询十万转气浮主轴方案

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