晶合集成获得发明专利授权:“在栅极之间的沟槽中沉积应力介质层的方法及『半导体』器件”

证券之星消息,根据『天眼查APP』数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“在栅极之间的沟槽中沉积应力介质层的方法及『半导体』器件”,专利申请号为CN202510262515.7,授权日为2025年6月13日。

专利摘要:本申请公开了在栅极之间的沟槽中沉积应力介质层的方法及『半导体』器件,方法包括:提供至少具有第一栅极和第二栅极的『半导体』结构;在『半导体』结构的表面形成第一应力介质层;蚀刻第一应力介质层;在『半导体』结构的表面形成第二应力介质层;第一应力介质层为按如下形成的压应力介质层:第一沉积处理,在『半导体』结构的表面沉积具有第一沉积厚度的第一介质层;对第一介质层的整个膜层进行第一等离子体处理,其中第一沉积厚度不超过第一等离子体处理的处理深度;基于设置的第一循环次数,多次循环执行第一沉积处理和第一等离子体处理,在『半导体』结构的表面形成压应力介质层。本申请可改善伪栅移除后的栅极结构的形貌,进而改善金属填充。

今年以来晶合集成新获得专利授权168个,较去年同期增加了3.07%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了12.84亿元,同比增21.41%。

数据来源:『天眼查APP』

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