5月6日，『半导体』沉积设备爱思强宣布，公司最新G10-AsP系统已交付荷兰磷化铟（InP）代工企业SMART Photonics。
该设备专为砷化物/磷化物应用设计，采用创新的注入器和先进温控技术，使关键层的晶圆均匀性较前代产品提升4倍，同时，具备全自动盒到盒操作能力，并通过原位清洗确保工艺稳定性，为高质量PIC生产提供了可靠保障。
爱思强成立于1983年，其技术解决方案广泛应用于激光/LED、显示技术、数据传输、电源管理等前沿领域。
SMART Photonics是爱思强的长期合作伙伴，成立于2012年，依托埃因霍温理工大学的技术支持，已成为欧洲领先的InP PIC代工厂。
此次设备交付，标志着两家公司在磷化铟光子集成电路制造领域的合作进入新阶段，将为全球光电子产业链提供更强大的技术支持。
业界指出，近年，得益于5G/6G通信、医疗健康、人工智能等领域的快速发展，以及汽车激光雷达等传感技术的广泛应用，基于磷化铟的光子集成电路市场需求快速上升。爱思强G10-AsP系统有望提升SMART Photonics在GaAs/InP材料领域的大规模生产能力，助力其应对快速增长的市场需求。
（文/集邦化合物『半导体』 Flora 整理）
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