上海光机所在全息光刻研究方面取得进展(上海光机所地址在哪)
图1 肘形图形为目标图形,不同方法得到的全息掩模分布、空间像与光刻胶轮廓与基于GS 算法的全息掩模设计方法相比,新方法设计得到的全息掩模有效降低了空间像光强分布的均方根误差(RMSE)和面积误差比(AER)…
图1 肘形图形为目标图形,不同方法得到的全息掩模分布、空间像与光刻胶轮廓与基于GS 算法的全息掩模设计方法相比,新方法设计得到的全息掩模有效降低了空间像光强分布的均方根误差(RMSE)和面积误差比(AER)…

在这项工作中,研究人员采用了三种激光谐波,即1064 nm、532 nm和266 nm,以探究不同激光参数对高密度聚乙烯(HDPE)键断裂的影响,并确定引发化学反应所需的能量阈值。烧蚀部位的显微成像进一步证…

超快强光场驱动大气分子产生的空气激光,因其独特的时-频-空特性,为相干拉曼散射提供了理想的探测光源,降低了相干拉曼光谱探测技术的复杂度。在该研究中,研究团队利用空气激光辅助的相干拉曼光谱技术,实现了大气中二…

面对ASML的技术垄断和专利壁垒,中国选择了一条不同的路。 这意味着中国在光刻机整机集成方面取得了实质性进展。原本想通过技术封锁遏制中国发展,结果倒逼出了中国的全产业链自主创新。 不同的是,中国走的是差异…
