国家知识产权局信息显示，福建三荣科技有限公司申请一项名为“一种铜抛后陶瓷盘清洗测厚一体机”的专利，公开号CN121586425A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种铜抛后陶瓷盘清洗测厚一体机，涉及『半导体』清洗测厚设备技术领域，包括机架，以及依次设置于所述机架上的上料机构、刷洗机构、超声波清洗机构、冲洗机构、风刀机构、测厚机构和下料机构；该设备集成上下料、清洗与测厚功能及分类下料功能，实现全流程自动化，显著提升生产效率并降低人工成本；上料机构采用双上料位设计，配合上料机械手，保障连续供料；通过刷洗、超声波清洗与冲洗相结合的多级清洗工艺，有效保障陶瓷盘表面的高洁净度；测厚机构精准度高，可精准判定硅片是否合格并生成分类指令；下料机构据此将陶瓷盘自动移送至不同的下料位。
天眼查资料显示，福建三荣科技有限公司，成立于2026年，位于泉州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1200万人民币。通过天眼查大数据分析，福建三荣科技有限公司参与招投标项目1次，专利信息9条。
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