EUV只是表象,真正改变『芯片』格局的,是中国在14纳米时代的一个判断

直到现在,仍有不少人把『芯片』竞争的关键节点,理解为某一次禁令出台、某一份清单更新,仿佛局势是在那一刻才突然改变的。但在真正的产业竞争中,决定胜负的往往不是公开事件本身,而是这些事件发生之前,各方已经做了哪些准备。外界最近从专利数据中回溯全球光刻机技术路径时,注意到一个此前并未被广泛讨论的事实:中国对EUV光刻机的技术研究,并非在近几年才被动启动,而是在2018年前后就已经进入系统布局阶段,而当时国内主流工艺仍停留在14纳米量产水平。

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如果放在当年的行业语境中,这样的选择并不符合主流预期。按照『半导体』产业长期形成的惯性逻辑,制程演进是一条相对平滑的路线,上一代技术尚未完全释放潜力,极少有人会提前投入资源去攻克下一代最复杂、风险最高的核心装备。EUV光刻机不仅研发周期漫长,而且对全球供应链的依赖程度极高,投入巨大、回报周期极不确定。也正因为如此,中国在14纳米阶段就开始围绕EUV展开研究,并未引发太多关注,甚至被部分观点视为“过早押注”。

但现实很快改变了这种看法。2018年,中国『芯片』企业在引进EUV设备过程中遭遇阻碍,这件事的影响并没有停留在单一企业层面,而是迅速在行业内部形成共识:先进『芯片』的发展,已经无法完全建立在市场规则之上,关键环节的可获得性,本身就是一种潜在风险。从那一刻起,中国『芯片』产业开始重新审视技术路线的安全性问题,EUV不再只是未来可能用到的工具,而被视为必须提前准备的关键变量。

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随后的几年里,中国围绕EUV的投入逐渐显现出长期性特征。相关企业在多个技术方向上持续推进研发,专利申请数量不断累积,覆盖范围也从早期的概念探索,逐步转向更具工程指向性的细分环节。对于不熟悉行业的人来说,专利往往只是一个抽象数字,但在高端装备制造领域,持续而稳定的专利输出,意味着研发体系已经形成闭环,并且具备长期投入的能力,这种信号往往比单点技术突破更重要。

与此同时,EUV的现实难度也越来越清晰地摆在面前。它并不是某一项技术的简单升级,而是一个高度复杂的系统工程。一台成熟的DUV光刻机,已经涉及十万级别的零部件协同,而EUV的零部件规模则大幅提升。据行业估算,一台EUV光刻机的制造,需要数十个国家、数千家企业长期配合,即便是行业龙头,也只负责其中一小部分关键环节。这种高度分散的产业结构,决定了任何国家想要实现EUV的全面自主,都不可能依靠短期冲刺完成。

也正因为对这一现实有着清醒认识,中国并没有把全部希望集中在EUV这一条路径上。在持续推进长期研发的同时,中国选择在现有DUV光刻机体系内不断挖掘工艺潜力。近几年,业内普遍认为,中国已经在DUV条件下实现了7纳米工艺的稳定应用。这一进展的意义,并不仅仅体现在工艺节点数字上,更在于证明了通过流程优化、工艺整合和系统协同,既有设备仍然具备被进一步压榨的空间。

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随着7纳米逐步成熟,关于是否还能继续向前推进的讨论也随之出现。有观点认为,中国可能会尝试在DUV条件下逼近5纳米。对此,业内专家普遍持谨慎态度。浸润式光刻机领域的重要学者曾指出,从工程角度看,DUV并非完全不可能触及5纳米,但这已经接近物理与制造的双重边界,即便实现,成本和复杂度也会急剧上升,商业可行性极为有限。这意味着,DUV路线更像是一种“时间换空间”的策略,而不是对EUV的长期替代。

真正值得关注的,其实并不只是这些制程节点的突破。在传统硅基『芯片』之外,另一批新型技术正在同步推进。量子『芯片』和光子『芯片』近年来频繁进入公众视野,它们并不完全依赖现有光刻体系,也不受制于传统工艺路径,更重要的是,这些领域尚未形成成熟的产业模板,全球范围内几乎不存在可以直接复制的经验。

在这些新赛道上,真正具备系统推进能力的国家并不多,中国和美国都在其中。与传统『芯片』竞争不同,量子『芯片』和光子『芯片』的发展,需要从基础研究、工程验证到产业化探索一步步推进,没有现成供应链,也不存在长期垄断者。这种环境下,传统意义上的“卡脖子”影响被明显削弱,竞争重新回到技术探索本身。

把这些不同层面的布局放在同一张图景中,就会发现,中国在先进『芯片』领域采取的,并不是单一路线的豪赌,而是一种多方向并行、长周期投入的整体策略。这种策略的优势,在于能够应对外部环境的变化,也更难被外界准确评估进展。

与之形成对照的,是美国在先进『芯片』领域所面临的现实压力。一方面,美国仍然掌握着大量核心技术和顶级企业;另一方面,传统巨头在执行力和创新节奏上的问题,也不断引发市场质疑。围绕更先进制程的竞争中,争议性消息频频出现,而在量子『芯片』、光子『芯片』这些真正指向未来的领域,美国是否还能保持过去那样的领先优势,同样存在不确定性。

『芯片』竞争走到今天,已经很难用某一次得失来判断最终走向。真正起决定作用的,是谁更早意识到风险,谁更愿意为长期不确定性付出成本。从这个角度看,中国多年前开始的那些布局,更像是在为下一阶段的竞争提前铺路。而这场较量,显然仍在进行之中。

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