在『半导体』气体输送链路中，面板（IGS, Integrated Gas System）是承上启下的关键节点。它不仅负责多路气体的分配和切换，也是颗粒污染最容易产生的位置之一。阀门启闭、管道摩擦、密封件磨损，都会成为颗粒的来源。如果面板级没有过滤器，下游的仪器与腔室必然会暴露在颗粒风险中。
为此，恒歌推出的 SF 系列面板过滤器，专门为 系统设计，支持多种密封规格（C 型、W 型），在紧凑空间内提供高效过滤。本文以问答的形式，解析为什么面板过滤至关重要，以及 系列如何发挥作用。
Q1：面板为什么一定要有专用过滤器？
解答：
因为面板是颗粒的“温床。虽然源头（BF 系列）已经过滤过一次，但在面板内部，阀门启闭、连接件松动或密封件磨损都会不断释放新的微粒。根据 SEMI F57 报告，在一套典型的 200 路气体分配面板中，约 30% 的颗粒污染来自面板内部，而不是气源。
如果没有 SF 系列这种专门的面板过滤器，下游仪器保护过滤器（MF 系列）就会频繁堵塞，甚至直接让颗粒进入 MFC 或腔室。
Q2系列和 系列有什么不同？
可以把它们理解为三层防线
BF 系列：在源头拦截，确保进厂气体洁净；
SF 系列：在面板端再次拦截，阻止面板本身产生的颗粒进入主气路；
MF 系列：在终端保护仪器，阻止残余颗粒进入 或阀门。
因此，SF 的独特价值在于：它不是替代 或 ，而是承担中间防护，把系统分级隔离。
Q3系列的过滤性能如何？
过滤精度：0.003 µm（9 LRV），满足『半导体』工艺对亚微米颗粒的要求；
材质：316L 烧结不锈钢，全金属焊接，杜绝有机析出；
耐温：≤400 ℃，可支持系统烘烤；
耐压：≤20 MPa，覆盖常见电子气体工况；
密封标准：支持 C 型和 型，兼容性强，便于不同面板标准集成。
这些数据表明，SF 系列既能满足标准的洁净度要求，也具备适应多样工况的能力。
Q4：面板安装 SF 系列时，有哪些工程注意事项？
解答：
安装方向：必须按流向标识安装，否则会产生二次污染；
密封件选择：与面板材料一致，避免电化学腐蚀；
压降预留：在面板设计时，应在整体压降预算中为 SF 分配余量（一般 10%）；
检测方法：安装后必须做颗粒计数测试，确保过滤性能符合 ISO Class 1 标准；
维护策略：建议与面板的年度维护周期同步，对滤芯进行清洗或更换。
Q5：SF 系列如何影响面板的可靠性和寿命？
解答：
研究数据显示，在没有面板过滤的系统中，MFC 的平均寿命只有 2–3 年，而在配置 后，寿命可延长至 5 年以上。这意味着不仅维护成本下降，面板本身的稳定性也更好，因为颗粒不再在内部堆积。
Q6：从投资角度看，系列是否值得？
值得。面板系统的成本往往在几十万到上百万元，而一只 SF 过滤器的投入只占极小部分。通过减少颗粒引发的故障和停机，回报周期通常小于一年。对一条月产 万片的产线来说，哪怕良率提升 0.5%，带来的收益也足以覆盖数百套过滤器的成本。
Q7系列在不同产业的应用差异？
『半导体』：用于分配面板，保障腔室气体洁净；
光伏：大面积沉积工艺中，防止面板颗粒进入气体分布器；
特种气体：在高腐蚀气体系统中，SF 的全金属设计可长期运行。
Q8：未来工艺节点下降（2 nm、1.4 nm），系列还能满足吗？
是的。当前 SF 的 0.003 µm 精度已经远超现行工艺节点的需求。随着制程演进，对颗粒的敏感度会更高，而 的设计预留了足够的冗余空间，可以持续适应未来 10 年的行业标准。
面板过滤是超高纯气体系统中最容易被忽视、却最关键的环节之一。恒歌 SF 系列面板过滤器通过 精度、全金属结构、C/W 双标准兼容，在紧凑空间内提供高效防护。它不仅补齐了源头与终端之间的防线，更显著提升了整个 IGS 系统的可靠性与寿命。
对于追求高良率和低停机率的产线而言，SF 不是可选件”，而是保障系统稳定的必备组件。
