干式螺杆真空泵-百科(干式螺杆真空泵操作规程)

提到工业生产中的 “真空缔造者”，螺杆真空泵常以 “低调强者” 姿态存在，虽不及大型机床显眼，却在『半导体』、医药、石化等关键领域，支撑高精度、高清洁度生产流程。作为干式真空泵核心类型，其结构与应用蕴含严谨工程原理，本文简析其技术要点与工业价值。

1.结构组成

螺杆真空泵核心结构包括螺杆转子、泵体、同步齿轮、密封组件及冷却系统，各部件配合要求严格：

螺杆转子(核心工作部件)多为单头型线(少数特殊场景用多头)，由圆弧、摆线等自啮合曲线构成，分等螺距、变螺距两种;

转子间、转子与泵壳间隙需严控在 0.2~0.4mm，无金属接触以避摩擦磨损;

同步齿轮采用合金钢精磨斜齿轮，确保双螺杆反向同步旋转，误差达微米级，直接影响抽气密封性与稳定性;

密封组件：驱动端多为 “干式密封 + 唇形密封” 组合，非驱动端为三联唇形密封，部分场景需配合氮气吹扫形成 “气障”，防工艺气体污染润滑油或润滑油渗入泵腔;

冷却系统分水冷(冷却水温度≤32℃，流量随型号变)与气冷(氮气 / 空气吹扫)，用于控制泵腔温度，避免压缩热致转子热变形。

2.工作原理

基于容积式抽气原理，分四步：

吸气：同步齿轮带动双螺杆反向旋转，进气端齿间容积增大形成负压，气体从进气口吸入;

输运：气体随螺杆旋转被封闭在齿间容积内，沿轴向推至排气端(等螺距结构无压缩，变螺距 / 变径结构初步压缩);

压缩：变螺距 / 变径结构中，齿间容积随螺距减小或直径变化缩小，气体被压缩至接近排气口压力，减少排气反冲;

排气：齿间容积与排气口连通，压缩气体排出，完成一次抽气循环。

医药行业：用于原料药真空干燥、溶媒回收，需处理含乙醇、二氯甲烷等易燃有毒溶媒的气体，系统需配冷凝器(冷冻水温度 - 15℃)回收溶媒，同时通过氮气吹扫(压力≤0.5kg/cm²g)保护密封件，防溶媒腐蚀;

石化行业：用于油气回收(储油库、加油站)、芳烃抽提，需处理含 C4~C6 烃类蒸汽的气体，采用哈氏合金涂层+冷却水控温，排气管道设计为 “步步低”(低于排气口位置)防冷凝液堆积致振动，油气回收率≥95%。

为保障长期稳定运行，需科学维护：每次使用后清洗泵腔(处理粘性物料需用专用清洗剂)，运行中持续氮气吹扫驱动端，形成气障保护密封。