严酷环境下的稳定表现——耐高温与真空兼容性(严酷环境有哪些)

许多高端应用,如航空航天、『半导体』制造和物理实验,要求执行器能在高温、真空等极端环境下稳定工作。压电陶瓷材料本身具有优异的物理化学稳定性,经过特殊设计和工艺处理后,能够完美适配这些苛刻条件。

普通压电陶瓷的居里点(失去压电效应的温度)通常远高于室温,可达200-350℃甚至更高,这意味着其在较高温度下仍能正常工作。通过选择耐高温的陶瓷配方和电极材料,可以制造出专门用于高温环境的促动器。

真空兼容性方面,压电陶瓷平台表现出色。其主要问题在于材料的放气率。在真空中,某些材料会释放出吸附的气体分子,污染真空环境。通过采用全陶瓷结构、特种不锈钢外壳,并使用低放气率的环氧树脂或直接采用焊接工艺,可以制造出超高真空兼容的压电平台。

此外,真空环境下散热困难,因此需要优化驱动电压和频率,防止过热。我们的真空级压电平台经过特殊设计,确保了在10^-9 mbar甚至更高的真空度下,也能长期、可靠地提供纳米级精密的运动,是同步辐射☢️、空间模拟等领域的可靠伙伴。

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