ASML申请用于一维板簧引导的改善的动态几何结构专利，减小引导平台在z轴上的刚度(asml产品有哪些)

金融界2025年8月6日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于一维板簧引导的改善的动态几何结构”的专利，公开号CN120435690A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本文中描述的实施例包括引导平台和光刻系统，所述光刻系统被配置成通过控制物镜的位置来测量物镜在引导平台上的位置。所述引导平台可以包括挠曲件，当所述物镜被定位以提高所述物镜的整体聚焦准确度时，所述挠曲件减小所述引导平台在z轴上的刚度。挠曲引导机构可以用于定位所述物镜以进行重叠测量。