北方华创取得化学气相沉积用旋转交替支撑工装专利，保证支撑点及其附近的沉积效果(北方华创地位)

金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创真空技术有限公司取得一项名为“一种化学气相沉积用旋转交替支撑工装”的专利，授权公告号CN223176203U，申请日期为2024年09月。

专利摘要显示，本实用新型涉及气相生长方法技术领域，尤其是涉及一种化学气相沉积用旋转交替支撑工装，由于现有技术下的支撑方式会在工件表面形成支撑点，支撑点气流无法达到，支撑点周围会有气流不畅的现象，造成工件支撑点附近镀层质量有问题，支撑点无法镀上镀层，需要进行二次沉积，而本申请可以在化学气相沉积过程中使工件旋转起来，当可升降支撑座下降到底部时，由固定支撑座支撑工件，当可升降支撑座升到顶部时，由该组支撑座支撑工件，从而实现了工件在旋转的同时交替切换两组支撑点，保证了支撑点及其附近的沉积效果，解决工件表面一次性全覆盖镀膜的难题。

天眼查资料显示，北京北方华创真空技术有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本6710.49万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创真空技术有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目342次，专利信息271条，此外企业还拥有行政许可8个。