6月27日消息，ASML技术高级副总裁Jos Benschop在接受《日经亚洲》采访时表示，该企业已同光学组件独家合作伙伴蔡司一道启动了5nm分辨率的Hyper NA光刻机开发。
作为参考，目前的TWINSCAN EXE:5000光刻系统采用High NA (0.55NA) 光学系统，分辨率为8nm。更高的分辨率意味着先进制程企业可减少曝光次数、提升光刻图案质量。
Jos Benschop提到，ASML尚未设定Hyper NA光刻机推出的目标日期，不过项目开发目标是将NA（注：数值孔径）进一步提升到0.7乃至更高；5nm的分辨率意味着Hyper NA系统能满足2035年乃至更后阶段的产业需求。
对于近来才启动部署的High NA图案化设备，这位ASML高管称这些机台的广泛使用要晚一些，这是因为行业需要测试、验证并建立相应的生态系统；0.55NA光刻机预计可满足本十年内乃至到三十年代初的行业需求。
来 源 |
“人工智能时代应对挑战的关键，在于持续追问‘什么是人’‘作为人意味着什么’，并守住‘真实感’与‘自我掌控感’，避免人类在技术依赖中迷失。” 在教师评述环节，北京大学教育学院教授贾积有肯定人工智能在提升教学效…
香港特区政府消防处于12月11日向在大埔宏福苑火灾救援行动中殉职的消防员何伟豪追授消防队目荣誉职衔，以表彰他在执行灭火救援任务时的卓越服务和无私精神
作为恋综中人气颇高的女嘉宾，徐敏的生活动态一直备受关注，这次的喜讯更是让观众和网友感受到她人生的新篇章。育儿、家庭和事业的平衡，是每个普通人都在经历的课题，而徐敏用幽默与亲和力，把这种生活状态展现给公众，让粉…
304材质不锈钢外球面方形带座轴承(SUCF系列)是一种具有优良耐腐蚀性能和高强度特性的精密机械部件。本文从其定义、技术原理、应用场景等方面对其进行详细介绍，并探讨其技术特点和市场价值。
天融信雄安网络安全技术有限公司大屏幕上显示着雄安数字城市的网络安全态势，实时为雄安数字城市的网络安全进行评估、预警和保障。 雄安新区中关村科技园总经理助理郝小乐介绍：“截至今年10月，园区累计引进215家科…
当前网址：