1、单一组分的制备方法
制备单一组分激光标准气的方法因物质的性质不同而异。对于挥发性较强的液态物质，可利用其挥发作用制备，不能用挥发法制备的可采用化学反应法制备。
混合气体制备
2、标准混合气体的制备
标准混合气体是用一种高纯气体作稀释气再添加一种或几种其它的高纯气体配制而成。激光标准气的配制方法主要有称量法、分压法、体积法、渗透法、饱和法、电解法、指数稀释法、流量比混合法等，从气体动力学的角度分为静态配气法和动态配气法。静态配气法是把一定量的气态或蒸气态原料气体回入已知容积的容器中，再充入稀释气体，混匀制得。
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标准混合气体配制的技术
1、重量法：该方法应用高载荷精密天平称量装入钢瓶中的各气体组分，根据各组分的质量比，计算出钢瓶中激光标准气的浓度。
2、质量流量比法：该方法以流量比率混合的方法进行激光标准气的配制，因此流量的准确测定是保证所配制所的关键。
3、压力比法：这种方法在配制混合气体时，根据测定各组分的压力，按指定浓度进行配气。
4、渗透管法：渗透管是一种提供原料气气源的设备，主要由装原料液的小容器和渗透膜组成。
5、静态容量法：目前，国家标准仍然沿用静态容量法配气装置配气。
