国产高端光刻机关键突破！芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运(国产高端光刻机和进口区别)
快科技11月26日消息，上海芯上微装科技股份有限公司宣布，公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场。 芯上微装表示，这标志着我国在高端『半导体』光刻设备领…
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