一文说清干法刻蚀中各种气体的作用
含氟（F）等离子体刻蚀气体 产生CF₃⁺、F自由基，兼具化学与离子轰击刻蚀。强聚合性气体，生成聚合膜用于侧壁钝化（例如Bosch深硅刻蚀工艺）。 极强的清洗与刻蚀能力，常用于机台原位干清洗（尤其是CVD腔体…
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