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光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 S偏振照明的近场强度P偏振照明的近场强度 它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： 在脚本…
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